CNC机加工产品
用于半导体设备的精密CNC加工组件。包括刻蚀腔体、真空腔体、喷淋头和其他关键零件，精度达±0.003mm。
8+
产品类型
±0.003mm
精度
5-Axis
加工
Ra 0.2μm
表面处理
腔体±0.003mm
半导体刻蚀腔体
用于半导体晶圆加工设备的精密CNC加工刻蚀腔体。
材料: 6061-T6 Aluminum表面处理: Ra 0.8μm
组件±0.003mm
半导体真空腔体
采用AMAG 7075/6061铝合金制造的高性能真空腔体主体。专为需要超高真空环境的半导体刻蚀和沉积工艺设计。
材料: AMAG 7075表面处理: Ra 0.4μm
组件±0.005mm
半导体刻蚀腔体
采用ALG 6N61-SP铝合金制造的精密加工半导体刻蚀腔体。具有超高纯度和出色的尺寸稳定性，适用于苛刻的半导体制造工艺。
材料: ALG 6N61-SP Ultra-Pure Aluminum表面处理: Ra 0.2μm
组件±0.002mm
喷淋头
采用美铝Type-200 (6061-T651)铝合金制造的精密气体分布板。具有微孔设计，用于半导体制造中的均匀等离子体处理。
材料: Arconic Type-200 (6061-T651)表面处理: Ra 0.2μm
组件±0.003mm
加热板
用于精确晶圆处理的温度控制加热板。
材料: 6061-T6 Aluminum with embedded heaters表面处理: Ra 0.4μm
组件±0.005mm
涡流气体均衡器
高性能涡流气体均衡器，用于半导体加工中的均匀气体分布。
材料: Constellium KO60表面处理: Ra 0.4μm
组件±0.01mm
半导体组件夹具
精密加工的组件夹具，用于固定半导体设备零件。
材料: 6061-T6 Aluminum表面处理: Ra 0.8μm
阀门±0.005mm
刻蚀机阀体
用于半导体刻蚀机应用的高精度阀体。
材料: 6061-T6 Aluminum表面处理: Ra 0.4μm
组件±0.01mm
压缩机叶轮
采用6061铝合金加工的高性能压缩机叶轮。
材料: 6061-T6 Aluminum表面处理: Ra 0.4μm
组件±0.005mm
动平衡叶轮
采用7075铝合金制造的高强度动平衡叶轮。
材料: 7075-T6 Aluminum表面处理: Ra 0.4μm
组件±0.002mm
半导体均温板
用于半导体加工应用的精密加工均温板。
材料: Arconic Type-200 (6061-T651)表面处理: Ra 0.2μm